超真空干燥箱（極限真空≤10?? mbar）的真空泵配置需滿足以下核心要求：
一、真空泵選型組合要求
?1.多級泵組合?
必須采用?羅茨泵+旋片式油泵?串聯(lián)方案：
羅茨泵負責快速抽取大流量氣體（抽速≥100L/s），作為主增壓單元?。
旋片油泵作為前級泵提供基礎真空（極限真空≤10?3 mbar），支撐羅茨泵高效運行?。
2.?防污染設計?
若處理腐蝕性/揮發(fā)性樣品（如酸霧、有機溶劑），需選用?全PTFE涂層泵體?的防腐蝕機型，避免閥片腐蝕失效。
非腐蝕性場景可配置常規(guī)旋片泵，但需加裝?冷阱或過濾裝置?防止油蒸氣回流污染樣品。
二、關(guān)鍵性能參數(shù)
1.極限真空；≤10?? mbar；需羅茨泵組實現(xiàn)超高真空環(huán)境?。
?2.抽氣速率?；≥100L/s（羅茨泵）；容積>100L時需更高抽速。
?3.溫度兼容性?；5℃~40℃運行環(huán)境；避免低溫結(jié)冰或高溫宕機。
三、安裝與操作規(guī)范
?1.連接流程?
超真空干燥箱→真空橡膠管→?羅茨泵進氣口?→羅茨泵排氣口→?旋片泵進氣口?，確保全管路密閉?。
2.?防倒吸措施?
停機時?先關(guān)真空閥?→?再關(guān)羅茨泵?→?最后關(guān)旋片泵?，防止泵油倒灌?。
箱內(nèi)需加裝?隔阻網(wǎng)?，避免粉末樣品吸入泵體?。
?3.維護要求?
旋片泵需定期?更換專用真空泵油?（建議500小時/次）?。
長期停用需排空泵油并清洗油路。
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